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数据集为人工合成晶圆制造工业表格数据集,包含25万条晶圆仿真生产记录,覆盖工艺参数、洁净室环境、设备状态、缺陷信息、良率指标、维保数据,适配半导体良率回归预测、缺陷分类、设备异常检测、工业时序分析、智能制造 BI 可视化教学实训。适用于晶圆制造工艺优化、工业预测性维护、半导体智能制造、工业4.0数据分析场景。
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